儀器名稱：超高分辨熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

品牌:  日立

型號：SU8700

產(chǎn)地：日本

儀器介紹：

一.儀器特點(diǎn)：

1. 電磁混合透鏡，具有極高分辨能力：0.6nm@15kV;0.8nm@1kV；

2. 具有低至10V的超低加速電壓表征能力;

3. 無漏磁物鏡設(shè)計(jì)，具有多類成像探測器組合；

4. 具有自動對中功能的電子光學(xué)系統(tǒng)，可簡單獲取高質(zhì)量圖像；

5. 可選批量樣品自動圖像采集功能。

二.主要用途：

超高分辨、高度自動化的熱場發(fā)射掃描電鏡，用于納米技術(shù)、半導(dǎo)體、電子器件、金屬、生命科學(xué)、新材料等領(lǐng)域。